臺式精密勻膠機(jī) 型號CKF-411
凈化勻膠機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件經(jīng)營過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的設(shè)備

產(chǎn)品型號：CKF-411

更新時間：2024-02-04

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實驗室儀器

傳感器硬度計離子計壓片機(jī) 熱量計油滴儀流速儀計時計分析儀熔點儀試驗器量熱儀液（物）位計混合器凈度儀水平儀測寬儀除濕機(jī) 貫入儀平衡儀監(jiān)測儀檢測裝置粉碎機(jī) 試驗機(jī) 測定器報警儀酸度計攪拌器發(fā)生器計數(shù)器電沙浴光度計溶氧儀菌落計數(shù) PH計探傷儀精密烘箱溫水槽氫氘燈顯微鏡聲校準(zhǔn)器照度計測試儀判斷儀監(jiān)控儀測定儀試驗儀風(fēng)速儀檢測儀濁度計厚度儀萃取器/萃取儀 CST毛細(xì)吸水時間測試儀水分活度計智能微粒檢測儀酒精噴燈試驗裝置金相顯微鏡顆粒強(qiáng)度測定儀石油產(chǎn)品檢測儀器勻膠機(jī) 粘土吸藍(lán)量試驗儀均質(zhì)器攪拌器/攪拌機(jī) 馬弗爐一體化智能蒸餾儀氫氣發(fā)生器清洗機(jī) 萃取儀水質(zhì)硫化物酸化吹氣儀軌道式搖床離心機(jī) 金屬浴干式恒溫器多管旋渦混合儀其他實驗室專用洗砂機(jī) 氮吹濃縮儀水質(zhì)采樣器糧食專用振蕩器無油真空泵多功能樣品氮吹濃縮儀

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臺式精密勻膠機(jī) 型號CKF-411

臺式精密勻膠機(jī)

凈化勻膠機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的**用設(shè)備
設(shè)備中涂膠部分四個工位單片微型機(jī)控制四個工位同時工作或分別工作，即各工位的運(yùn)轉(zhuǎn)單**傳動，轉(zhuǎn)數(shù)單**調(diào)節(jié)及單**顯示。
為保證在涂膠工藝中不飛片，設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個電磁閥，同時增加一個負(fù)壓儲氣罐，保證了吸片牢固和可靠性。
設(shè)備中配有**用的空氣凈化裝置。
主要技術(shù)指標(biāo)：
勻膠工位：1個工位或者 4個工位
勻膠時間：1-99秒
勻膠轉(zhuǎn)數(shù)：500-8000轉(zhuǎn)/分
凈化效果：100級（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)）
操作區(qū)風(fēng)速：0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸：650x750x1620mm
外體顏色：瓷白色
1．控制范圍和精度：轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3%

2.時間控制范圍為：1-99秒，精度為±5%
3．轉(zhuǎn)速調(diào)整采用高精度D/A轉(zhuǎn)換，具有128級的精度調(diào)諧。
4．轉(zhuǎn)速查看智能化。（自動識別哪個電機(jī)開或關(guān)）自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上。可予先選定，也可在運(yùn)行中隨時查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。
5．采用**的I2C總線技術(shù)和E2PRAM數(shù)字存儲器，可預(yù)存10組工藝參數(shù)（勻膠機(jī)A型機(jī)可予存10個延時時間，40個電機(jī)轉(zhuǎn)速參數(shù)。B型機(jī)可予存20個時間參數(shù)，80個轉(zhuǎn)速參數(shù)；顯影機(jī)可保存9個慢啟動參數(shù)，30個時間，30個轉(zhuǎn)速參數(shù)）。保存的參數(shù)掉電10年不丟失。調(diào)整后的參數(shù)自動保存，簡化了操作。
6．具有全自動智能控制功能，當(dāng)使用全自動方式時只需放好工件，然后按一下ATART（開始）鍵，吸盤自動打開，定時工作完成后延時6秒電機(jī)停穩(wěn)后自動關(guān)閉吸盤，喇叭鳴三聲，提示完成工作。7．定時的時間和轉(zhuǎn)速的測量全部由軟件控制，定時部分采用倒計時的方式顯示，轉(zhuǎn)速測量部分直接顯示被測電機(jī)的每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)。調(diào)整部分由軟件和D/A轉(zhuǎn)換器控制，去掉了原使用CMOS電路采用的撥盤開關(guān)和機(jī)械電位器的機(jī)械觸點。在原基礎(chǔ)上增加了全自動功能，減少了操作程序，避免了頻繁的開關(guān)面板上的按鍵開關(guān)，大大的降低了按鍵開關(guān)因頻繁使用而損壞。提了整機(jī)的可靠性和使用壽命。調(diào)整，啟動，切換，停止，并有提示音。